荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML.US)的首席执行官克里斯托夫·富凯(Christophe Fouquet)在周二表示，预计首批使用其下一代光刻机——即High-NA EUV光刻机设备制造的高性能芯片将在未来几个月内正式交付。根据阿斯麦官方描述，High-NA EUV将面向2nm最前沿芯片制程之后——尤其是1.8nm/1.4nm级别及更后续制程节点的关键图形化平台，还将覆盖DRAM等存储芯片最关键制造层。

光刻机概念股（2026 年 5 月，纯文字精简版）

一、整机及核心关联（最正宗）

张江高科（600895）：参股上海微电子（国内唯一前道光刻机整机厂），情绪总龙头。

芯碁微装（688630）：直写光刻机龙头，先进封装 / PCB 领域主力。

大族激光（002008）：激光光刻机 + 半导体设备双主线，千亿市值中军。

二、光学系统（核心部件）

茂莱光学（688502）：DUV 投影物镜唯一国产，上海微电子核心供应商。

福晶科技（002222）：光刻光源非线性光学晶体龙头。

炬光科技（688167）：DUV/EUV 光场匀化器，光源核心模块。

波长光电（301128）：DUV 投影物镜与光学镜头供应商。

三、精密结构 / 部件

富创精密（688409）：精密机械结构件，光刻机核心基座与运动部件。

江丰电子（300666）：高纯靶材 + 28nm 光刻机冷却部件，散热核心。

新莱应材（300260）：高纯流体管路 / 阀门，光刻机气液系统必备。

四、光刻气 / 化学品

华特气体（688268）：光刻气国产龙头，通过 GIGAPHOTON 认证。

南大光电（300346）：ArF 光刻胶龙头，中芯国际验证通过。

上海新阳（300236）：KrF 光刻胶及配套化学品。

五、检测 / 配套设备

长川科技（300604）：半导体检测设备，光刻机配套量检测。

广立微（301095）：晶圆测试设备，光刻后良率检测。

晶方科技（603005）：先进封装龙头，与光刻机制程配套。